旋片真空泵可以去除密封容器中的幹燥氣體，并且如果安裝氣鎮裝置，則可以去除一定量的可冷凝氣體。但是，它不适合去除氧氣過高，對金屬有腐蝕性，對泵油有化學反應性，并含有微粒粉塵的氣體。 旋片真空泵有單級和雙級兩種形式。所謂的兩級是将兩個串聯的單級泵連接起來。通常，将其制成兩個階段以獲得更高的真空度。
旋片真空泵的抽速與入口壓力之間的關系如下：在入口壓力爲1333 Pa，1.33 Pa和1.33×10 -1（Pa）時，抽速值不應小于95泵的标稱泵送速度的百分比，50％和20％。
旋片真空泵主要由泵體，轉子，旋轉葉片，端蓋，彈簧等組成。轉子偏心地安裝在旋轉葉片泵的空腔中，轉子的外圓周與泵室的内表面相切（兩者之間存在小的間隙），并且兩個轉子葉片安裝在轉子中插槽。當旋轉時，旋轉葉片的頂端通過離心力和彈簧的張力保持與泵室的内壁接觸，并且轉子的旋轉驅動旋轉葉片沿着内壁滑動。泵室。
旋片真空泵的旋轉葉片将由轉子，泵室和兩個端蓋包圍的新月形空間分成A，B和C三部分。當轉子沿箭頭方向旋轉時，空間與吸入口連通體積逐漸增加并處于吸入過程中。與排氣口連通的空間C的容積逐漸減小，并且處于排氣過程中。中心空間B的體積也逐漸減小并且處于壓縮過程中。由于空間A的容積逐漸增加（即，膨脹），氣體壓力降低，并且泵入口處的外部氣體壓力強于空間A中的壓力，從而吸入氣體。
當空間A與吸入口隔離時，即與空間B的位置隔開時，氣體開始被壓縮，體積逐漸減小，最後與排氣口連通。當壓縮氣體超過排氣壓力時，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體通過油箱中的油層排放到大氣中。泵的連續操作實現了連續泵送的目的。如果排出的氣體通過空氣通道并轉移到另一個階段（低真空水平），則它被低真空階段抽走，然後被低真空階段壓縮并排放到大氣中，這構成了兩個階段泵。此時，總壓縮比由兩個階段承擔，從而增加極限真空。
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